Отделить германий от кремния можно с помощью процесса диффузии, который позволяет разделить материалы на основе их склонности к диффузии в другой материал. В данном случае, можно использовать диффузию кислорода в кремний, при которой кремний будет превращаться в диоксид кремния (SiO2), а германий останется нетронутым. Для этого пластины могут быть подвергнуты процессу окисления в кислородной среде, например, при высоких температурах. Чтобы вытравить германий, можно использовать щелочные растворы, которые реагируют с германием, но не с кремнием. Например, гидроксид натрия (NaOH) может использоваться для вытравливания германия, при этом кремний останется нетронутым. Однако, необходимо учитывать, что этот процесс может также повредить другие компоненты на пластинах, поэтому необходимо производить вытравление с осторожностью и контролировать процесс