каким способом образованы слова: исключительно, привилегии, безнаказанно

исключительно от прилагательного исключительный при помощи суффикса -о   - суффиксальный способ образования;

безнаказанно - от прилагательного безнаказанный при помощи суффикса -о   - суффиксальный способ образования

привилегия - бессуффиксный способ образования

возможно, ошибаюсь. Дождитесь еще решения

Посмотрел в Словообразовательном словаре русского языка А.Потиха слово "привилегия" - там не показано, как оно образовано, вот от него есть образования, значит никак, скорее всего, все-таки бессуфиксный