выписать все словосочетания "До недавнего времени клетку изучали с помощью светового микроскопа, дающего увеличение до двух тысяч раз. Но после того как был сконструирован электронный микроскоп, позволяющий достигать увеличения до миллиона раз, исследователи начали проникать в тончайшие детали черезвычайно сложного строение клетки."